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信頼される製品づくりのために

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三次元測定機

小規模ながらも信頼の製品をお届けするため、ミツトヨ製三次元測定機『Crysta-Pus M544』、キーエンス製ハンディプローブ三次元測定機『XM-T1200』と、キーエンス製『IM-7030T』画像寸法測定器を導入しています。

納期の短縮に加え、お客様に安心してご利用頂けるように製品精度の向上を目指しています。

 

仕様表「Crysta-Plus M544」

M544 仕様書

M544 精度保証の温度環境

※1:測定方法はJIS B 7440-2(2003)に基づく
※2:タッチトリガープローブ MH20i/MH20/TP20 +測定子(L10mm)による測定
※3:L=任意測定長(mm)

 

仕様表「XM-T1200」

型式

XM-T1200

種類

測定部 (2プローブ)
XM-T1200/M1200/S1200

カメラ

撮像素子

400万画素 CMOSイメージセンサ

受光中心波長

近赤外光

測定範囲

600mm×300mm×200mm

最小表示単位

距離

1µm

角度

0.0001度

測定精度

繰り返し精度

ステージロック時:±3µm
ステージアンロック時:±4µm

指示誤差

ステージロック時:±8µm*1
ステージアンロック時:±(10+L/100)µm*2

ステージ部

耐荷重

25kg

X軸可動範囲

±100mm

回転範囲

±60°

プローブ

プローブ数

2

ステージマーカー

マーカー数

6

マーカー光源

近赤外光LED870nm

プローブ接続ポート

2入力

コンソール入力

専用コンソール

外部リモート入力

無電圧入力(有接点/無接点) 2入力

インターフェース

通信(外部通信)

USB2.0シリーズA 3系統

ディスプレイ

内蔵ディスプレイ

15型 LCDモニター(XGA:1024×768)

耐環境性

使用周囲温度

+10 ~ +35 ℃

使用周囲湿度

20 ~ 80 % RH (結露しないこと)

電源

電源電圧

コントローラより供給

コネクタ形状

専用コネクタ

質量

ヘッド:約 39.6 kg (カメラ・ケーブル含む)
コンソール:約 150 g (ケーブル含む)

*1 JIS B7440-2参考、200×200×150mmの範囲内、使用周囲温度23℃±1℃のとき
*2 JIS B7440-2参考、500×200×150mmの範囲内、使用周囲温度23℃±1℃のとき

仕様表「IM-7030T」

型式

IM-7030T

種類

ヘッド
可変照明・ライトプローブユニット・接触式高さ測定ユニット搭載ワイドステージモデル

撮像素子

1型 660万画素 モノクロCMOS

ディスプレイ

10.4型 LCDモニタ (XGA:1024 x 768)

受光レンズ

ダブルテレセントリックレンズ

画像測定

視野

広視野測定モード:300 x 200 mm (4角R50)
高精度測定モード:225 x 125 mm

最小表示単位

0.1 µm

繰り返し精度

ステージ移動なし

広視野測定モード:±1 µm
高精度測定モード:±0.5 µm

ステージ移動あり

広視野測定モード:±2 µm
高精度測定モード:±1.5 µm

測定精度 ±2σ

連結なし

広視野測定モード:±5 µm*1
高精度測定モード:±2 µm*2

連結あり

広視野測定モード:±(7 +0.02 L) µm*3
高精度測定モード:±(4 +0.02 L) µm*4

ライトプローブ測定

測定可能領域(XY)

190 x 90 mm

最大測定深さ

30 mm

ライトプローブ直径

ø 3 mm

測定力

0.015 N

繰り返し精度

±2 µm*5

測定精度

±(8 +0.02 L) µm*6

高さ測定

測定範囲

0 ~ 75 mm

測定力

0.3 N

測定位置精度XY

±0.2 mm*7

最小表示単位

1 µm

測定可能領域(XY)

広視野測定モード:145 x 95 mm
高精度測定モード:107.5 x 95 mm

繰り返し精度

±2 µm*8

測定精度

±7.5 µm*9

外部リモート入力

無電圧入力 (有接点/無接点)

外部出力

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMos出力
定格負荷 DC 24 V、0.5 A
ON抵抗 50 m Ω 以下

インターフェース

LAN

RJ-45 (10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)

USB2.0シリーズA

6系統 (正面:2系統/背面:4系統)

記録

ハードディスクドライブ

500 GB

照明系

透過

テレセントリック透過照明

落射

4分割マルチアングル照明 (電動)
スリットリング (指向性) 照明 (電動)

XYステージ

移動範囲

200 x 100 mm (電動)

耐荷重

7.5 kg

Zステージ

移動範囲

75 mm (電動)

電源

電源電圧

AC100 ~ 240 V、50/60 Hz

消費電流

430 VA 以下

耐環境性

使用周囲温度

+10 ~ +35 ℃

使用周囲湿度

20 ~ 80 % RH (結露しないこと)

質量

約 35 kg

*1 ø 80 mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度 +23 ±1 ℃のとき
*2 ø 20 mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度 +23 ±1 ℃のとき
*3 280 x 180 mm (4角R40)の範囲、合焦点位置にて使用周囲温度 +23 ±1 ℃、ステージ積載重量 3 kg以下のとき L はステージ移動量 (mm)
*4 220 x 120 mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度 +23 ±1 ℃、ステージ積載重量 3 kg以下のとき L はステージ移動量 (mm)
*5 検出方法が標準のとき、検出方法が深い位置用のときは±3 µm
*6 検出方法が標準、使用周囲温度 +23 ±1 ℃、ステージ積載重量 3 kg以下のとき 検出方法が深い位置用のときは ±(10 +0.02 L) µm L は測定長 (mm)
*7 使用周囲温度 +23 ±1 ℃のとき
*8 測定最大高さ設定 30 mm以下のとき。測定最大高さ設定 30 mm を超え 75 mm までは、±3 µm
*9 標準ガラス、測定最大高さ設定 30 mm以下のとき。測定最大高さ設定 30 mm を超え 75 mmまでは、±9.5 µm

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